半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水設(shè)備概述: 半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水對(duì)TOC、DO、SIO2、Particulate的控制嚴(yán)格,達(dá)到PPb級(jí),產(chǎn)水水質(zhì)要求在18.2MΩ*cm(25℃)以上。
半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水設(shè)備優(yōu)點(diǎn):
半導(dǎo)體芯片用水主要在于前端晶棒硅切片冷卻用水,基板晶圓片檢測(cè)清洗用水,中段晶圓片濺鍍、曝光、電鍍、光刻、腐蝕等工藝清洗,后段檢測(cè)封裝清洗。LED芯片主要是前段在MOCVD外延片生長(zhǎng)用水,中段主要在曝光、顯影、去光阻清洗用水,后段檢測(cè)封裝用水。同時(shí),半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)TOC的要求較高。
半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水設(shè)備特點(diǎn): 由于超純水設(shè)備的工藝是根據(jù)不同的入水水質(zhì)和出水要求而設(shè)計(jì)的,針對(duì)不同的原水水質(zhì)特點(diǎn)而設(shè)計(jì)
超純水設(shè)備方案才是經(jīng)濟(jì)有效的方案,同時(shí)也是出水水質(zhì)長(zhǎng)期穩(wěn)定達(dá)到要求的保證。超純水設(shè)備由于用途不一樣,會(huì)有不同的制造流程,或有的把幾種工藝結(jié)合起來(lái)讓水質(zhì)達(dá)到預(yù)期的效果,按類別可大至分為以下幾種,比較常用的預(yù)處理系統(tǒng),反滲透系統(tǒng), EDI電除鹽超純水系統(tǒng),精處理系統(tǒng)等。
半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水設(shè)備工藝流程:
①反滲透純水設(shè)備 RO反滲透膜的工作原理是對(duì)水施加一定的壓力,使水分子和離子態(tài)的礦物質(zhì)元素通過(guò)一層反滲透膜,而溶解在水中的絕大部分無(wú)機(jī)鹽(包括重金屬)、有機(jī)物以及細(xì)菌、病毒等無(wú)法透過(guò)反滲透膜,從而透過(guò)的純水和無(wú)法透過(guò)的濃縮水嚴(yán)格的分開;
反滲透膜上的孔徑只有0.0001um,而病毒的直徑一般有0.02-0.4um,普通細(xì)菌的直徑有0.4-1um。 反滲透純水機(jī)的正常工作有賴于一定的壓力,這個(gè)壓力大于滲透膜的滲透壓,一般是2.8公斤/平方厘米。
在水壓或水壓不穩(wěn)定的地區(qū),我們建議您一定要購(gòu)買有前段增壓泵的反滲透純水系統(tǒng),它的工作壓力可達(dá)0.3-0.6Mpa,不受自來(lái)水壓限制,制水效率高,速度快、排濃縮水少。
反滲透有效的除鹽,一級(jí)反滲透設(shè)備出水電阻率一般在0.05-0.5MΩ.CM.此純水系統(tǒng)產(chǎn)水品質(zhì)穩(wěn)定,是目前比較通用的純水生產(chǎn)設(shè)備,生產(chǎn)品質(zhì)基本滿足FPC/PCB生產(chǎn)需求。
②EDI電除鹽超純水系統(tǒng) 連續(xù)電除鹽(EDI, Electro deionization或CDI, continuous electrode ionization),是利用混和離子交換樹脂吸附給水中的陰陽(yáng)離子,同時(shí)這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下,分別透過(guò)陰陽(yáng)離子交換膜而被除去的過(guò)程。
這一過(guò)程離子交換樹脂是電連續(xù)再生的,因此不需要使用酸和堿對(duì)之再生。
這種新技術(shù)可以替代傳統(tǒng)的離子交換裝置,生產(chǎn)出高達(dá)18MΩ.CM的超純水。整個(gè)工藝流程前面的部分和常規(guī)的水處理工藝沒(méi)有很大區(qū)別,一般是先經(jīng)過(guò)預(yù)處理,然后加藥殺毒,再經(jīng)過(guò)RO反滲透系統(tǒng),再使用EDI設(shè)備制取超純水。
選擇起航環(huán)??萍?em>和用水難題說(shuō)再見
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大型設(shè)備生產(chǎn)基地
* 有豐富實(shí)戰(zhàn)經(jīng)驗(yàn)的純水處理工藝設(shè)計(jì),設(shè)備制造,工程安裝團(tuán)隊(duì);
* 年產(chǎn)水量達(dá)1500萬(wàn)噸以上,規(guī)模龐大;
* 與多家世界500強(qiáng)企業(yè)達(dá)成合作協(xié)議;
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擁有國(guó)家專利,實(shí)力見證
* 自有品牌 擁有多項(xiàng)國(guó)家專利;
* 設(shè)備經(jīng)國(guó)家第三方機(jī)構(gòu)校正和認(rèn)證;
* 自主研發(fā)設(shè)計(jì)生產(chǎn),擁有國(guó)家專利認(rèn)證;
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為您量身定制純水處理設(shè)備解決方案
* 各行業(yè)用水需求滿足,循環(huán)用水系統(tǒng),提高水利用率;
* 采用新型純水處理技術(shù),智能化運(yùn)作,操作簡(jiǎn)單,水質(zhì)穩(wěn)定;
* 為您定制更適合您的純水處理設(shè)備解決方案;
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健全的售后服務(wù)體系,無(wú)后顧之憂
* 設(shè)備保質(zhì)1年,終身負(fù)責(zé)提供技術(shù)咨詢及維修保養(yǎng)服務(wù);
* 接到需求電話2個(gè)小時(shí)內(nèi)技術(shù)提供緊急解決方案;
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定制流程
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確定需求
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方案制作
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工藝流程
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設(shè)備報(bào)價(jià)
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方案確定
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合同簽訂
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設(shè)備生產(chǎn)
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出貨定位
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安裝調(diào)試
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設(shè)備驗(yàn)收
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設(shè)備培訓(xùn)
聯(lián)系起航
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